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¡Ø ·¹ÀÌ´Ù ¹× Àû¿Ü¼± ½ºÅÚ½º¹°Áú
Á¦      Ç°
½Ç¸®ÄÜ´ÏÆ®¶óÀ̵å(Silicon Nitride) ³ª³ëÆÄ¿ì´õ
¼º      »ó
¹é»ö ÆÄ¿ì´õ
Æò±ÕÀÔ°æ
25nm
¼ø      µµ
99%
°á Á¤ »ó(crystal phase)
¹«Á¤Çü(Amorphous)
ºñÇ¥¸éÀû
50§³/g
Á¦Å¸ÀüÀ§(Zeta potential)
-21.8mV
°Ñº¸±â ¹Ðµµ
0.05g/cm3
°æ     µµ
9-9.5
´©Çª°æµµ(Knoop hardness)
2200
¹Ì¼¼°æµµ(Microhardness)
32630MPa
À¶      Á¡
1900 ¡É (under pressure)
¿­ Àüµµ¼º
16.7W / (m ¡¤ K)
¿ë ÇØ ¼º
¹°¿¡ ºÒ¿ë, ºÒ»ê(HF-hydrofluoric acid)¿¡ ¿ëÇØ

¡Ý Àû ¿ë

½Ç¸®ÄÜ ´ÏÆ®¶óÀ̵åÀÇ Åº¼ºÀ²(modulus)Àº 28420 ~ 46060Mpa, ±¸ºÎ¸²°­µµ(bending strength)´Â 147MPa, ¾ÐÃà°­µµ(Compressive strength)´Â 490MPa (¹ÝÀÀ¼Ò°á-reaction sintering), ÀÌ°ÍÀº Áß¿äÇÑ ±¸Á¶ ¼¼¶ó¹Í ¹°Áú(structural ceramic materials) À̸ç, ÃÊ °í°­µµ¹°ÁúÀÌ´Ù,
ÀÌ¿Ü¿¡ À±È°¼º, ¸¶¸ð¹æÁö, ºÎ½Ä¹æÁö ¹× °í¿Â »êÈ­¹æÁö¼ºÀÌ ÀÖ´Ù.
±×¸®°í ÀÌ°ÍÀº ¶ÇÇÑ °ø±âÁß¿¡¼­ 1000 ¡ÉÀÌ»ó °¡¿­µÇ¾î ±Þ°ÝÈ÷ ³Ã°¢ÇÏ¿©µµ º¯ÇüÀÌ ¾ø´Ù. ¼¼¶ó¹ÍÇüÅÂÀÇ ½Ç¸®ÄÜ ´ÏÆ®¶óÀ̵å´Â ºñ±³Àû ³·Àº¿Âµµ°¡ ÇÊ¿äÇÏÁö¸¸, ±×·¯³ª ÁÁÀº ±¸Á¶Àû ¾ÈÀû¼º°ú ¿ì¼öÇÑ ±â°èÀû°­µµ¸¦ °¡Áö°í ÀÖ´Ù.

½Ç¸®ÄÜ ´ÏÆ®¶óÀÌµå ³ª³ëÆÄ¿ì´õ´Â ¼¼¶ó¹Í ¸ðü È­ÇÕ¹°·Î»ç¿ëµÈ´Ù.
¼¼¶ó¹Í ¸ðü(matrix) È­ÇÕ¹°ÀÌ ¿©·¯ ³ª³ë ¼¼¶ó¹Í ¹°ÁúÀÇ Á¶ÇÕÀ¸·Î Áغñ µÇ¾ú´Ù. ¼¼¶ó¹Í¸ðü´Â ½Ç¸®ÄÜ ´ÏÆ®¶óÀ̵å, ½Ç¸®ÄÜÄ«¹ÙÀ̵å, ±×¸®°í ±× ¿ÜÀÇ ¹°ÁúÀ» Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ »õ·Î¿î ¼¼¶ó¹ÍµéÀº °í¿ÂÀúÇ×, °íÀÎÀå °í°­µµ, °æ·®, ºÎ½Ä¹æÁöµîÀÇ ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖÀ¸³ª, ´ÜÁ¡Àº ±×µéÀÇ ³ôÀº¿Âµµ ¹ÝÀÀ¼Ò°á ÀÌ´Ù. ¾Ð·ÂÇÏ¿¡¼­ ±Õ¿­À̳ª ÆÄ¿­ÀÌ µÇ¾î ½ÇÆÐÇÒ¼öÀÖ´Ù. ³ª³ë ¹°Áú°ú ¼¼¶ó¹Í ¸ðüÀÇ È­ÇÕ¹°Àº ¼¼¶ó¹ÍÀÇ Á¡Âø¼º°ú ½Å·Ú¼ºÀ» Çâ»ó½ÃÅ°´Â È¿À²ÀûÀÎ ¹æ¹ø ÀÌ°í ³ª³ë °­È­ ¼¼¶ó¹Í È­ÇÕ¹°Àº ¶Ù¾î³­ Á¡Âø¼ºÀ» °¡Áø´Ù.
¼¼¶ó¹Í ¸ðü È£ÇÕ¹°µéÀº °ø±¸, ½½¶óÀ̵ù ºÎÇ°, °øÇкÎÇ°, ¿¡³ÊÁö°ü·Ã ºÎÇ°µé, ±×¸®°í ±âŸ¿¡ Àû¿ëµÇ°í Àְųª µÇ¾îÁú°ÍÀÌ´Ù. ¿¹¸¦µé¸é, ½Ç¸®ÄÜ ´ÏÆ®¶óÀÌµå ³ª³ëÆÄ¿ì´õ¿Í È¥ÇÕµÈ º¹ÀâÇÑ ¼¼¶ó¹Í ±¸Á¶ ºÎÇ°µéÀº ±Ý¼Ó»ê¾÷, È­Çлê¾÷,±â°è»ê¾÷,Ç×°ø, ¿ìÁÖ ¹× ¿¡³ÊÁö »ê¾÷µî¿¡ À־ º¼º£¾î¸µ, ·Ñ¸µº£¾î¸µ ·Ñ·¯, ½½¶óÀ̵ùº£¾î¸µ, ¸¶¸ð¹æÁö°¡ ¿ä±¸µÇ´Â µ¤°³, ¹ëºê, ´Ù¸¥ ±¸Á¶ÀûÀÎ ºÎÇ°, °í¿ÂÀúÇ× ¹× ºÎ½Ä¹æÁöµî¿¡ Àû¿ëµÉ¼ö ÀÖ´Ù.

½Ç¸®ÄÜ ´ÏÆ®¶óÀÌµå ³ª³ëÆÄ¿ì´õ´Â ·¹ÀÌ´Ù ¹× Àû¿Ü¼± ½ºÅÚ½º ¹°ÁúÀÌ´Ù.
³ª³ë¹°Áú È¿°ú¸¦ °®´Â ÀÛÀºÅ©±â ¹× ¾çÀÚÅ©±âÀÇ ¹°ÁúÀº ±Ý¼Ó, »êÈ­±Ý¼Ó, ±×¸®°í ºñ±Ý¼ÓÀÇ Á¤Á¦½Ã Ç¥¸é³× ´õ¸¹Àº ¿øÀÚµéÀ» ºÙÀâ¾Æ µÎ¸ç, ´ç¸µ°áÇÕ(dangling bonds)¼ö°¡ Áõ°¡Çϸç, ±×¸®°í °è¸éÀÇ ±Ø¼ºÀÌ ÀÌ Çâ»óµÇ¾î ÀüÀÚÆÄ Èí¼ö¹°Áú·Î ÀÌ¿ëÀÌ °¡´ÉÇÏ°ÔÇÑ´Ù.

´Ù¾çÇÏ°Ô ºÐ»êµÇ¾îÀÖ´Â ¾çÀÚÅ©±âÈ¿°ú´Â ³ª³ë ÀÌ¿ÂÀÇ ¿øÀÚ ±ØÀÇ ¿¡³ÊÁö°£°Ý(energy gap) ÆøÀÌ ¸¶ÀÌÅ©·Î¿þÀ̺ê
(10-2eV~10-5eV) ¹üÀ§³»¿¡ Àֱ⠶§¹®¿¡, ±×°ÍÀº »õ·Î¿î Èí¼öä³ÎÀÌ µÉ¼ö ÀÖ´Ù.ÁÖ·Î ½Ç¸®ÄÜÄ«¹ÙÀ̵峪³ëÆÄ¿ì´õ, ½Ç¸®ÄÜ´ÏÆ®¶óÀÌµå ³ª³ëÆÄ¿ì´õ µîµîÀ» Æ÷ÇÔÇÏ´Â ³ª³ë¼¼¶ó¹ÍÆÄ¿ì´õ ´Â »õ·Î¿î ÇüÅÂÀÇ ¼¼¶ó¹Í Àû¿Ü¼± Èí¼öÁ¦ ÀÌ´Ù.

³ª³ë ¼¼¶ó¹Í Àû¿Ü¼± Èí¼öÁ¦´Â ³ÐÀº ¹üÀ§ÀÇ ÀüÀÚÆĴ뿪À» Èí¼öÇÏ°í Èí¼ö°­µµµµ ¾ÆÁÖ Å©´Ù. ½Ç¸®ÄÜÄ«¹ÙÀÌµå ³ª³ëÆÄ¿ì´õ¿Í ¸¶±×³×ƽ ³ª³ë Èí¼öÁ¦ÀÇ È¥ÇÕ¹°Àº(Áï. ¸¶±×³×ƽ ±Ý¼ÓÆÄ¿ì´õ) Èí¼öÈ¿°ú°¡ Å©°Ô Çâ»óµÈ´Ù. ³ª³ë ´ÏÆ®¶óÀ̵å Èí¼öÁ¦´Â ÁÖ·Î ½Ç¸®ÄÜ´ÏÆ®¶óÀ̵å(Si3N4) ¿Í ö ´ÏÆ®¶óÀ̵å(FeN) ³ª³ëÆÄ¿ì´õ¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. ½Ç¸®ÄÜ ´ÏÆ®¶óÀÌµå ³ª³ëÆÄ¿ì´õ´Â 100Hz~1MHz»çÀÌÀÇ Å« À¯Àü¼Õ½Ç(dielectric loss)ÀÌ ÀÖ´Ù, ÀÌ°ÍÀº °è¸é ±Ø¼º(interfacial polarization)¿¡ ÀÇÇÑ°ÍÀÌ´Ù. ö ´ÏÆ®¶óÀ̵å(FeN)³ª³ëÆÄ¿ì´õ´Â ¸Å¿ìÅ« Æ÷È­ÀÚ±âÀ¯µµÅ©±â(saturation magnetic induction strength) ¿Í Æ÷È­ÀÚ±âÀ¯¼Ó¹Ðµµ(saturation magnetic flux density)¸¦ °¡Áö°í ÀÖ¾î¶Ù¾î³­ ³ª³ë ·¹ÀÌ´Ù Èí¼öÁ¦ ¿ªÇÒÀ»ÇÏ°ÔÇÑ´Ù.

Ưº°ÇÑ Àý¿¬Á¦
¿£ÁøÀÇ Àý¿¬¸éÀÌ °¡Àå °áÇÔÀÌ »ý±â±â½¬¿îºÎºÐÀÌ°í,±× Àý¿¬¸éÀÇ Ç°ÁúÀº Àý¿¬¼º´ÉÀ» °áÁ¤ÇÏ´Â °¡Àå Áß¿äÇÑ ¿ä¼ÒÀÌ´Ù.
³ª³ë ¹°Áú·Î Àý¿¬ºÎºÐ ¸ðü¸¦ ¼öÁ¤Çϰųª ³ª³ë ÆÄ¿ì´õ·Î Àý¿¬¸éÀ» µ¤À¸¸é Àý¿¬¼ºÀ» ¾ÆÁÖÅ©°Ô °³¼±ÇÒ¼öÀÖ´Ù. ÇöÀç¿¡, Àý¿¬°í¹«ÀÇ ´ëºÎºÐÀÇ ¼º´ÉÇâ»óÁ¦´Â ³ª³ë Ä«º»ºí·¢À» äÅÃÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¸¸¾à ±×°ÍÀ» ½Ç¸®ÄÜ ´ÏÆ®¶óÀÌµå ³ª³ëÆÄ¿ì´õ·Î ´ëüÇÑ´Ù¸é,±×°ÍÀÇ ÀÎÀå °­µµ´Â 1~4 ¹è Áõ°¡ µÇ¸ç, ±×»Ó¸¸¾Æ´Ï¶ó ¸¶¸ð¹æÁö ¹× ´©Ãâ¹æÁöµµ Å©°Ô °³¼±µÈ´Ù.

±¸Á¶ ÀåÄ¡
¿¹¸¦µé¸é , ±Ý¼Ó»ê¾÷,È­Çлê¾÷,±â°è»ê¾÷,Ç×°ø¿ìÁÖ»ê¾÷, ¿¡³ÊÁö ÀÚ¿ì³ÊºÐ¾ß µî¿¡ À־, ´ÙÀ½ÀÇ ÀåÄ¡µé¿¡ Àû¿ëµÉ¼ö ÀÖ´Ù. ·Ñº£¾î¸µÀÇ º¼°ú ·Ñ·¯, ½½¶óÀ̵庣¾î¸µ, ³ôÀº ¸¶¸ð¹æÁö¼ºÀ» °®´Â µ¤°³,¹ëºê,±¸Á¶ÀûÀÎÀåºñ(structural devices), °í¿ÂÀúÇ× ¹× °íºÎ½ÄÀúÇ×.

±Ý¼Ó°ú ´Ù¸¥¹°ÁúÀÇ Ç¥¸éó¸®Á¦
¿¹¸¦µé¸é, ±ÝÇü, Àý»è°ø±¸, ÆÀ Åͺ󳯰³(blades of team-turbines), ÅͺóȸÀüÀÚ(rotors of turbines) ±×¸®°í ½Ç¸°´õ ³»¸éÄÚÆà µî