Products

home>products>¹Ì±¹ nanoComposix Á¦Ç°>½Ç¹ö ³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ Àüµµ¼º Åõ¸íÄÚÆÿ¡ °üÇÑ ¹é¼­



1. °³ ¿ä(Executive summary)

È­ÇÐÁõÂøÀ¸·Î ÄÚÆõǴ ITO µî°ú °°Àº ¹°ÁúÀ» ´ëüÇϱâÀ§ÇØ, Åõ¸í Àüµµ¼º ÄÚÆÿ¡ Àû¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Â Àüµµ¼º ³ª³ëÀÔÀڵ鿡 ´ëÇÑ °ü½ÉÀÌ ¾ÆÁÖ¸¹¾ÆÁö°í ÀÖ´Ù.
¿ì¸®´Â ºñ¿ë, ¼º´É, °øÁ¤, ¹× ȯ°æÀûÀÎ ¸é¿¡¼­ CNT-±â¹Ý ¿ë¾×À» ³Ñ¾î¼­´Â ÀåÁ¡À»°¡Áø Àº³ª³ë¿ÍÀ̾î(SNW) Àüµµ¼º Åõ¸í ±â¼úÀ» °³¹ßÁßÀÌ´Ù.
¿ì¸®ÀÇ 1¼¼´ë Á¦Ç°Àº °¡½Ãµµ¿¡ ÀÖ¾î À¯¸®±âÆÇÀÇ 85%ÀÇ Åõ°úÀ²°ú °ÅÀÇ Àû¿Ü¼± ¿µ¿ª¿¡ °¡±î¿î ½ºÆåÆ®·³À» °®´Â 32 §Ù /sq ÀÇ Àº³ª³ë¿ÍÀ̾î ÄÚÆÃÀ» ¸¸µé¾î ³Â´Ù.
Àº³ª³ë¿ÍÀ̾î´Â Àüµµ¼º Åõ¸íÄÚÆÿ¡ ÀÖ¾î ´ÙÀ½°ú °°Àº ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
ÀºÀº ´Ù¸¥±Ý¼Ó¿¡ºñÇØ °¡ÀåÀûÀº Àü±âÀúÇ×(1.6 ¡¿ 10-6 §Ù ¡¿cm)À» °¡Áö°í ÀÖÀ¸¸ç, ¿­¿¡ ¾ÈÁ¤ÇÏ°í, ³·Àº Ç¥¸éÁ¢ÃË
    ÀúÇ×(low surface contact resistance)À» °¡Áö°í ÀÖ´Ù.
ÀÀÁýÀÌ ¾ÈµÇ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î Á÷°æ 30nm ±æÀÌ 50 umÀÇ °¢°¢ÀÇ ´ÜÀÏ ³ª³ë¿ÍÀ̾ ¸¸µé¾ú´Ù.
¼öÀ² >95%¿¡ À̸£´Â Àº³ª³ë¿ÍÀ̾ ¹Ýº¹ÀûÀ¸·Î ¾ò¾ú´Ù.
ȯ°æģȭÀûÀιæ¹ýÀ¸·Î Á¦Á¶½Ã, °øÁ¤½Ã, ±×¸®°í ¹Ú¸·Á¦Á¶½Ã À¯±â¿ëÁ¦¸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù.
ÇöÀç 30 §Ù/sq sheet resistance ¿¡ 70 ft2/g ÀÇ Ä¿¹öÀ²À» º¸¿©, ÀÌ ÄÚÆÃÀº ³ÐÀº¸é¿¡ °æÁ¦ÀûÀ¸·Î À¯¸®ÇÏ´Ù.
    (~$0.10 / ft2).



ÀϹÝÀûÀÎ ÄÚÆÃÀÇ Çü¼ºÀº Æò±Õ±æÀÌ 20 micron Á÷°æ 64 nm ÀÇ ³ª³ë¿ÍÀ̾î·Î ÀÌ·ç¾îÁ®ÀÖ´Ù.(Figure 1)
ÈξÀÀû°Ô ºÐ»êµÇ´Â 30 nm Á÷°æÀÇ ³ª³ë¿ÍÀ̾ ¸¸µå´Â ¹æ¹ýÀ» ¿Ï¼ºÇß´Ù.(Figure 2)



Á÷°æ 30nm¸¦ À¯Áö½ÃÅ°¸é¼­ Æò±Õ±æÀ̸¦ Áõ°¡½ÃÅ°´Â 󸮹æ¹ýÀ» ´õ¿í ÃÖÀûÈ­½ÃÅ°´Â Áß¿¡ ÀÖ´Ù.
ÀÌ·Ð ¹× ±¤ÇÐÀû ÃøÁ¤À¸·Î Á÷°æÀÌ 64 nm¿¡¼­ 30nm ·Î °¨¼ÒÇÏ¸é °°Àº g/ft2 ÇÏÁ߹еµ(loading density)¿¡¼­ Åõ°ú´Â 83%¿¡¼­ 94%·Î µÈ´Ù.

2. Silver Nanowires

´ç»ç´Â ÃÖ±Ù 4³â°£ Àº³ª³ë¿ÍÀ̾î Á¦Á¶¹æ¹ýÀ» ¹ßÀü ½ÃÄÑ¿ÔÀ¸¸ç ÃÖÀûÈ­ ÇÏ¿´´Ù. ¹ÝÀÀÁ¶°ÇÀ» Á¶Á¤ÇÏ¿© Àº³ª³ë ¿ÍÀ̾îÀÇ ±æÀÌ¿Í Á÷°æÀ» Á¶ÀýÇÒ¼ö ÀÖ´Ù. Àº³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ ¿øÀÚ¼öÁØÀÇ ¸Å²ô·¯¿ò ¹× Á÷°æ ±ÕÀϼºÁ¶ÀýÀ» Figure 3 ¿¡¼­ º¼¼ö ÀÖ´Ù. 2°³ÀÇ ´Ù¸¥ ÇüÅÂÀÇ Àº³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ ±æÀÌ Á÷°æ Åë°è°¡ Figure 4 ¿¡ ÀÖ´Ù.
¾à°£ÀÇ Àº³ª³ë¿ÍÀ̾ 20¸®ÅÍÀÇ ¹èÄ¡¿¡¼­ Á¦Á¶ÇÒ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, °¢ ¹èÄ¡¿¡´Â 30 §Ù /sq¿¡¼­ 4600 ft2 ÀÇ ¿¹»ó Ä¿¹ö¸éÀûÀ» °®´Â 60g ÀÇ Àº³ª³ë¿ÍÀ̾ »ý»êÇÑ´Ù.

Àº³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ ÁÖ¿ä ÀåÁ¡Àº ÃÖÁ¾ ¿ë¾×ÀÌ ¹¶Ä¡Áö ¾Ê´Â °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °ÍÀº Àº³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ »ý»êÀ» À§ÇØ ¹ßÀüµÇ°í ÃÖÀûÈ­µÇ¾îÁø ´ç»çÀÇ Æ¯Çã °øÁ¤±â¼ú·Î ¸¸µé¾îÁ³´Ù. ÀÌ ±â¼úÀÌ ¾øÀ¸¸é, ¼öÀ²°ú »ý»ê½Ã°£, ±×¸®°í »ý»êºñ¿ëÀ» Á¦ÇÑÇÏ´Â ´ÙÁß ¿ø½ÉºÐ¸®´Ü°è°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
Àº³ª³ë¿ÍÀ̾î´Â ÇüÅ°¡ ¼±Çü ¸·´ëÇüÅ°í, ±âÁú(substrate)¿¡ °³º°ÀûÀ¸·Î ħÀüµÇÁö ¾Ê±â¶§¹®¿¡, ³ôÀº Àüµµ¼ºÀ» À§ÇÑ ÆÛÄ÷¹À̼Ç(PERCOLATION) ÇÑ°èÄ¡ ¿¡ µµ´ÞÇÒ¼ö ÀÖµµ·Ï ³·Àº ºÎÇϼöÁØ(low loading levels)ÀÌ ¿ä±¸µÈ´Ù. ÀÌ°ÍÀº ±ä Àº³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ ¾îµÎ¿î ºÎºÐ ±¤ÇÐÀ̹ÌÁö ¿Í ªÀº Àº³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ Àú¹èÀ² TEM À̹ÌÁö¿¡¼­ ºÐ¸íÈ÷ ¾Ë¼ö ÀÖ´Ù.(Figures 1 ¹× 2)

ÇöÀçÀÇ Àº³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ ÁÖ¿ä ¹®Á¦Á¡Àº 64 nm Á÷°æ Àº³ª³ë¿ÍÀ̾î ÄÚÆÃÀ¸·ÎºÎÅÍ »ê¶õ°ú °ü·ÃµÈ ¾à°£ÀÇ Èñ»Ñ¿¬ (haze) °ÍÀÌ´Ù. ¿ÍÀ̾îÀÇ Á÷°æÀÌ °¨¼ÒÇÔ¿¡µû¶ó, »ê¶õ ¿ä¼Ò°¡ »ó´çÈ÷ ¸¹ÀÌ °¨¼ÒµÈ´Ù. Á÷°æÀÇ º¯È­¿¡´ëÇÑ Æò¸éÆĵ¿¿©±â»óÅÂ(plane wave excitation)ÀÇ ¿ÍÀ̾îÀÇ Àü±â·Â ¹ÝÀÀÀÌ ÀÌ»ê½Ö±ØÀÚ ±Ù»ç¹ý (discrete dipole approximation-DDA)À¸·Î Ç¥ÇöµÇ¾ú´Ù. ÀÌ ¹æ¹ý¿¡¼­, ¿ÍÀ̾î´Â Æí±¤½Ãų ¼ö ÀÖ´Â Á¤À°¸éü ¹è¿­·Î ³ª´©¾îÁ³´Ù. ÇÑ filed°¡ ÀÔÀÚ¿¡ Àû¿ëµÇ¸é, elements ÀÇ °¨¼ÒµÈ Æí±¤(polarizations)µéÀÌ ÃøÁ¤µÇ¾îÁö¸ç, Èí¼ö, »ê¶õ, ±×¸®°í local electric fields °¡ ÃøÁ¤µÇ¾îÁø´Ù. ±×°á°ú·Î »ý±ä ºÐ»êµÈ ´Ü¸éÀÌ Figure 5 ¿¡¼­ º¸¿©Áø´Ù.

ÀÌ ÀÌ·ÐÀû ±¸¼ºÀ¸·Î ¿ÍÀ̾îÀÇ Á÷°æÀÌ °¨¼ÒÇÔ¿¡ µû¶ó Àº³ª³ë¿ÍÀ̾î·Î ºÎÅÍÀÇ »ê¶õÀÌ ±ØÀûÀ¸·Î °¨¼ÒÇÔÀ» ÀÔÁõÇÏ¿´´Ù. Àº³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ Á÷°æÀ» 60 nm¿¡¼­ 30nm·Î Ãà¼ÒÇÏ¿©¼­ 550 nm¿¡¼­ ¿ÍÀ̾´ëÇÑ ºÐ»êÀÌ 85% °¨¼Ò ÇÏ¿´´Ù. Á÷°æ 30nmÀÇ Àº³ª³ë¿ÍÀ̾ ¸¸µé¾î Á³´Ù.(Figure 3B)


±×·¯³ª, ÄÚÆÃÀç·Î¼­ Åõ¸íÇϱâ´Â ÇÏÁö¸¸, ÀÌ ¿ÍÀ̾îµéÀº ³ôÀº ÇÏÁß(high mass loading)¾øÀÌ Àüµµ¼º Åõ°ú ³×Æ®¿÷ (conductivity percolation network)À» ¸¸µé±â¿¡´Â ³Ê¹« ª´Ù. ¾ãÀº ³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ ±æÀ̸¦ Áõ°¡½ÃÅ°´Â ¹æ¹ýÀÇ ÃÖÀûÈ­°¡ ÁøÇàÁßÀÌ´Ù.


3. Àº³ª³ë¿ÍÀ̾î Çʸ§ÀÇ Àüµµ¼º ¹× ºû Åõ°ú¼º

Àüµµ¼º Åõ¸í ÄÚÆÃÀç·Î¼­ÀÇ Àº³ª³ë¿ÍÀ̾î Ư¼ºÀ» ½ÃÇèÇϱâ À§ÇØ, À¯¸® ½½¶óÀ̵å(glass slides)¿¡ Àº³ª³ë¿ÍÀ̾ Àû¿ëÇÏ¿´´Ù.


Àº³ª³ëÄÚÆÃÀ» ÇϱâÀü¿¡, ½½¶óÀ̵å(1¡±¡¿ 3¡±)¸¦ Á¢ÂøÅ×ÀÌÇÁ ·Î ¾º¿îÈÄ ±ÝÀ¸·Î ½ºÆÛÅÍ ÄÚÆÃ(sputter-coated) µÈ 1¡° Æò¹æ¸éÀÇ 2°³ÀÇ Àü±Ø°ø°£À» ¸¸µé¾î Ç¥¸éó¸® Àüµµ¼ºÃøÁ¤À» ÇÑ´Ù.(Figure 6)
±ÝÀü±Ø¿¡ ±ÜÈûÀÌ ¾øÀÌ ÀúÇ×ÃøÁ¤À» ÇÒ¼ö ÀÖµµ·Ï ±¸¸® Àü±ØÀ» ±ÝÇ¥¸é¿¡ Silver ÆäÀÎÆ®·Î Á¢ÂøÇÑ´Ù.
Fluke 189 digital multimeter ¿Í ±¸¸®Æе忡 ŽÃËÀÚ (touching probes)·Î ÇÏ¿© ÀúÇ×ÀÌ ÃøÁ¤µÇ¾ú´Ù.


ÀÎÁ¢ÇÑ ½ºÆÛÅÍÄÚÆà ±ÝÇʸ§¿¡ ¿¬°áµÈ µÎ °³ÀÇ ±¸¸® ÆÐµå »çÀÌÀÇ ÀúÇ×Àº 2 §Ù À¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù.
°á°ú·Î, ¿ì¸® ½ÇÇèÀåÄ¡·ÎºÎÅÍ ¾ò¾îÁø µ¥ÀÌÅÍ´Â °¢°¢ÀÇ Ç¥¸é ó¸®ÀÇ ÀúÇ× (resistivity)À» °ÅÀÇ 4 §Ù ±îÁö °ú´ë Æò°¡ ÇÏ¿´´Ù. º¸°íµÈ µ¥ÀÌÅÍ´Â (´Ù¸¥¸»·ÎÇϸé)Á¢ÃËÀúÇ×-nÀÇ °ËÃâÀ» À§ÇØ Á¶Á¤µÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù.
¿ì¸®°¡ ½ÃÇèÇÑ Àº³ª³ë¿ÍÀ̾î Çʸ§Àº ´Ù¸¥ ¼ö¸¹Àº Á¦¾ÈµÈ°Íµé º¸´Ù ½ÇÁúÀûÀ¸·Î ÈξÀ Àüµµ¼ºÀÌ ÁÁ¾Ò´Ù.

Àº³ª³ë¸·´ë Çʸ§ÀÇ ±¤ÇÐÅõ¸í¼ºÀ» ÃøÁ¤ÇϱâÀ§ÇØ À¯¸® ½½¶óÀ̵尡 HP8453 UV/Vis ½ºÆåÆ®·Î¹ÌÅÍmeasure ÀÇ ºö(beam) ¼Ó¿¡ ³õ¿© Á³´Ù. À¯¸® ½½¶óÀ̵å´Â ±×ÀÚü°¡ ÆÄÀå±æÀÌ 550nm¿¡¼­ °ø±â¿Í ºñ±³ÇÏ¿© 92%ÀÇ Åõ°ú¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÏ·ÃÀÇ ÃøÁ¤À» À§ÇÏ¿© ÄÚÆÃÀÌ ¾ÈµÈ À¯¸®½½¶óÀ̵尡 blank sample ·Î »ç¿ëµÇ¾ú´Ù. ±æÀÌ 20¥ìm Á÷°æ 64 nm ÀÇ Àº³ª³ë¿ÍÀÌ¾î ³óÃà ¼ö¿ë¾×ÀÌ isopropanol ¿¡ ´Ù¸¥³óµµ·Î Èñ¼® µÇ¾ú´Ù.

ÇÇÆêÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© Àü±Ø»çÀÌÀÇ À¯¸®½½¶óÀ̵忡 ÀÌ¿ë¾× 60 uL °¡ µµÆ÷µÇ¾ú´Ù. À¯¸® ½½¶óÀ̵åÀÇ ½ºÆÛÅÍ µÇÁö ¾ÊÀº ºÎºÐÀ§¿¡ Çʸ§À» Çü¼ºÇϵµ·Ï ÇÇÆê ³¡À¸·Î ÀÌ¿ë¾×À» °ñ°í·ç ÇÇ°í, ±ÕÀÏÇÑ Çʸ§À» Çü¼º Çϵµ·Ï ¿ÀºñÅ»½¦ÀÌÄ¿¿¡¼­ °ÇÁ¶¸¦ ½ÃÄ×´Ù.
ÀÌ ½½¶óÀ̵å´Â ¿Àºì±â(furnace)¿¡¼­100¡ÆC·Î 20ºÐµ¿¾È Áú¼ÒÇÏ¿¡¼­ ¿­Ã³¸® µÇ¾ú´Ù. ¿­Ã³¸®´Ü°è´Â ½ÃÆ®ÀúÇ×(sheet resistance) ¸¦ 70-80% ±îÁö °¨¼Ò ½ÃŲ´Ù. Figure 7 Àº 30 §Ù /sqÀÇ ½ÃÆ®ÀúÇ×(sheet resistance)À» °®´Â 90 ¥ìg/in2 »ùÇÃÀÇ ¾îµÎ¿î ºÎºÐ À̹ÌÁö (dark field image)¸¦ º¸¿©ÁØ´Ù. 2D Åõ°ú ³×Æ®¿÷ÀÌ º¸ÀÌ´Â ºÎºÐÀ» °¡·ÎÁö¸£°í ÀÖ´Ù.


À¯¸®½½¶óÀ̵åÀ§ÀÇ ´Ù¸¥ ÇÏÁß(mass loadings)À»°¡Áø Àº³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ ¸éÀûÀúÇ×(area resistance) °ú Åõ°úµµ°¡
<Table 1>¿¡ ÀÖ´Ù.
Àº³ª³ë¿ÍÀ̾ ³ôÀºÇÏÁßÀÌ ÁÖ¾îÁö¸é Ç¥¸éÀÇ Àüµµ¼ºÀº Áõ°¡Çϳª Åõ°ú¼ºÀº °¨¼Ò ½ÃÄÑ, ÀúÇ× ¹× ±¤ÇÐÀû Åõ°ú¼ºÀº ¸ðµÎ ¿¹»óµÈ ¹æÇâÀÇ °æÇâÀ» ³ªÅ¸³»°í ÀÖ´Ù.
90 ¥ìg/in2 ÀÇ ÇÏÁß¿¡¼­, ±× ¹°ÁúÀº 32 §Ù/ sq ½ÃÆ® ÀúÇ×À» °¡Áö¸ç, ¿©ÀüÈ÷ 85%ÀÇ ºûÀÌ Åõ°ú µÈ´Ù.
ÀÌ ÇÏÁß¿¡¼­, 1ÀÇ Àº³ª³ë¿ÍÀ̾ 32 §Ù /sq ÀÇ ½ÃÆ® ÀúÇ׿¡¼­ À¯¸®ÀÇ ~70 ft2¿¡ µµÆ÷µÈ´Ù.

Figure 8 Àº ITO ÄÚÆÃÀ¯¸® ¿Í ÄÚÆÃÀÌ¾ÈµÈ À¯¸®¿Í ºñ±³ÇÏ¿© °ø±â¿Í °ü·ÃµÈ ´Ù¸¥ Àº³ª³ë¿ÍÀ̾î ÄÚÆÃÀÇ Åõ°ú ½ºÆåÆ®·³À» º¸¿©ÁÖ°í ÀÖ´Ù.
Figure 9 ¿¡¼­ , ´Ù¸¥ ³óµµÀÇ Àº³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ ½ÃÆ®ÀúÇ× ´ë Åõ°úÀ²ÀÌ ¹¦»çµÇ¾î ÀÖ´Ù.
550nm¿¡¼­ 87% ÀÌ»óÀÇ Åõ°úÀ²À̸é, Àüµµ¼º Åõ°ú ³×Æ®¿÷ Àº ¼Õ»ó µÇ±â ½ÃÀÛÇÑ´Ù. ÀÌ°ÍÀº ½ÃÆ® ÀúÇ×(sheet resistance)ÀÇ ±Þ°ÝÇÑ »ó½ÂÀ¸·Î Áõ¸í µÇ¾îÁø´Ù.



4. ¾ãÀº Àº³ª³ë¿ÍÀ̾î

Àº³ª³ë¿ÍÀ̾î ÄÚÆÃµÈ À¯¸® ½½¶óÀ̵åÀÇ Åõ°úÀ² °¨¼Ò´Â 64nm Àº³ª³ë¸·´ëÀÇ ´Ü¸éÀû ºÐ»êÀ¸·ÎºÎÅÍ ÀϾ´Ù. (Figure 5).
Àº³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ Á÷°æÀÌ °¨¼Ò´Â ÄÚÆüºÀ» Çâ»ó½ÃŲ´Ù.
ÇÊ¿äÇÑ Àüµµ¼ºÀ» ´Þ¼ºÇϱ⿡ ÃæºÐÇÏÁö ¾ÊÀº ª°í ¾ãÀº Àº³ª³ë¿ÍÀ̾ ¸¸µé¾ú´Ù.

Àº³ª³ë¿ÍÀ̾ ¾ã°Ô ¸¸µé¾î ¾ò¾îÁö´Â ÀåÁ¡À» ÃøÁ¤Çϱâ À§ÇØ, Àº³ª³ë¿ÍÀ̾îÀÇ 20um ÀÇ 32 §Ù /sq ½ÃÆ®ÀúÇ×(sheet resistance)À» °®´Â °°Àº ¸·´ë±æÀÌ ¿Í °°Àº 90 ¥ìg/in2 ÇÏÁßÀÇ 30 nm µÎ²² 2¥ìm ±æÀÌ ¿ÍÀ̾î·Î ±¸¼ºµÈ
Çʸ§µéÀÌ ÁغñµÇ¾ú´Ù.
(To estimate the benefit that would be obtained from the development of thinner SNWs, films comprised of 30 nm thick, 2 ¥ìm long rods at the same 90 ¥ìg/in2 mass loading and same total rod length that yielded a 32 §Ù /sq sheetresistance for 20¥ìm SNWS were prepared.)

Figure 8 Àº µ¿µîÇÑ Áß·® ¹× µ¿µîÇÑ ±æÀÌ ¹Ú¸· Àº³ª³ë¸·´ëÀÇ Åõ°úÀ²À» º¸¿©ÁÖ°í ÀÖÀ¸¸ç, »Ó¸¸¾Æ´Ï¶ó ÄÚÆÃÀÌ ¾ÈµÈ ½½¶óÀ̵å, 90 ¥ìg/in2 »ùÇÃ, 225 ¥ìg/in2 ¹× ITO ÄÚÆÃµÈ ½½¶óÀ̵åÀÇ 100 §Ù2 »ùÇÃÀÇ Åõ°úÀ²À» º¸¿©ÁÖ°í ÀÖ´Ù. °°Àº ÇÏÁß ¹ÐµµÀÇ 30nm Àº³ª³ë¿ÍÀ̾î´Â ÄÚÆÃÀÌ ¾ÈµÈ À¯¸®¿Í ºñ±³ÇÏ¿© 94.9% ÀÇ Åõ°úÀ²À» °¡Áö°í ÀÖ´Ù.
°°Àº ÃѱæÀÌÀÇ Àº³ª³ë(20 ¥ìg/in2 for 30 nm diameter SNWs)¸¦ ´Þ¼ºÇÏ·Á°í ³óµµ¸¦ ´õ °¨¼ÒÇϸé, Åõ°úÀ²Àº ¿øÆÇ À¯¸®ÀÇ 98.7% °¡ µÇ¸ç, ½ÇÁúÀûÀ¸·Î Áõ°¡µÇ´Â°Å´Â ITO¸¦ ³Ñ¾î¼±´Ù. ÀÌ°á°ú´Â ±âÆÇÀÇ Åõ°ú¼º¿¡ ½ÇÁúÀûÀ¸·Î ¿µÇâÀ» ÁÖÁö¾Ê´Â °í Àüµµ¼º ÄÚÆÃÀ» ´Þ¼ºÇϱâ À§ÇÑ ±â¼úÀû ÀáÀ缺À» ÀÔÁõ ÇÑ´Ù.

Figure 10 Àº 32 §Ù /sq ¸é ÀúÇ× (area resistance)À» °°´Â ±ä Àº³ª³ë¸·´ë ÄÚÆÃ, ITO ÄÚÆÃµÈ À¯¸® Ä¿¹ö½½¸³ ±×¸®°í 30nm µÎ²²ÀÇ Àº³ª³ë¸·´ëÀÇ 32 §Ù / sq ¾ç¿¡ »ó´çÇÏ´Â ±æÀÌ·Î ÄÚÆÃµÈ À¯¸®½½¶óÀÌµå µîÀ¸·ÎºÎÅÍ ¾ò¾îÁø tri-bar íƮÀÇ »çÁøÀ» º¸¿©ÁØ´Ù.
ÀÌ tri-bar ´Â ¸ðµç 3°³ÀÇ ÄÚÆÃÀ» ÅëÇÏ¿© ½±°Ô ¾Ë¾Æº¼¼ö ÀÖ´Ù.